5 月 6 日消息,据台媒《经济日报》今日报道,台积电 (TSMC) 已启动其位于中部科学工业园区的 Fab15A 晶圆厂升级计划。该厂当前的主要工艺为 28/22nm 成熟制程,初步将升级至 4nm,以满足 AI / HPC 芯片的持续需求。
Fab15A 现有的成熟制程设备预计将迁移至台积电与欧洲合作伙伴共同建设的 ESMC 德国德累斯顿晶圆厂。ESMC 的主要工艺就包括 28/22nm 平面 CMOS(以及 16/12nm FinFET),计划 2027 年开始初步生产。
从 28/22nm 升级到 4nm 不仅要更换设备也需对无尘室进行调整改造。业内人士预计 Fab15A 工艺升级总共开支将超过 1000 亿新台币(注:现汇率约合 216.5 亿元人民币)。
台积电在中部科学工业园区还设有以 7nm 为主的 Fab15B 晶圆厂,而面向尖端制程的 A14 新厂也在建设之中。
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